Høytytende IGS overflatemonterte C-tetningsfiltre for halvledergassleveringssystemer

Beskrivelse

HENGKO overflatemonteringsfiltre er designet for å møte de strenge kravene til integrerte gasssystemer som brukes i OEM-verktøy for halvledere. Disse filtrene tilbyr bransjeledende filtrering ved 0,003 µm, og sikrer eksepsjonell ytelse og pålitelighet med en partikkelavskjæringseffektivitet på ≥99,9999999 % (9-LRV) ved 120 slpm.

Disse filtrene er konstruert av robust 316L rustfritt stålpulver sintret for filterelementet og huset, og er i samsvar med SEMI F86-0304-spesifikasjonene, med toportskomponenter skreddersydd for 1,125-tommers gassdistribusjonssystemer med C-tetningskonfigurasjon. De støtter maksimalt innløpstrykk på 3,4 MPa ved 100 °C og en maksimal driftstrykkdifferanse på 0,69 MPa ved 100 °C.

Disse spesialiserte filtrene, kompatible med både C-type og W-type tetningsspesifikasjoner, oppnår renhet nedstrøms med partikkelfrigjøring av

Med en overflatefinish på Ra< 1,6 µm på utsiden og RaMed en innvendig tykkelse på < 0,13 µm er de konstruert for å tåle høye temperaturer på opptil 460 °C. Disse filtrene er konstruert for enkel integrering og modulære designoppgraderinger, og forenkler installasjon og vedlikehold, noe som bidrar til å optimalisere systemytelsen i halvledergassleverings- og kontrollapplikasjoner.

Produktfunksjon

▶ Helhetskonstruksjon i 316L rustfritt stål
▶ Miniatyrisert design, kompakt struktur, plassbesparende
▶ Utmerkede gasserstatnings- og desorpsjonsegenskaper
▶ Høy temperatur, høyt trykk og korrosjonsbestandig
▶ Elektropolert hus i 316L rustfritt stål
▶ Enkel og effektiv installasjon og vedlikehold
▶ Mekanisk tetning, strukturelt ikke-sveiset til mediet

Datablad

Størrelse

Her er delenummeret du kan bestille og størrelsesdetaljer:

Typiske bruksområder

For bruk med W-seal og C-seal, 1,125” og 1,5” overflatemonterte modulære gassleveringssystemer.