Høyrenhetsfiltrering for ultraren halvlederproduksjon
Beskrivelse
Høyflytende gassfilter – Spesielt utviklet for ultrahøy renhetsgrad i prosessgassproduksjon i halvlederproduksjon. Presisjonskonstruert av 316L rustfritt stål, har det en flerkolonne- eller stablet diskmediedesign for å sikre lav motstand ved høye strømningshastigheter, med en filtreringsnøyaktighet på 0,003 μm for å oppfylle krav til ultrahøy renhet. Helmetallkonstruksjonen gjør det til en ideell filtreringsløsning for dynamiske miljøer med høy temperatur.
Produktfunksjon
▶Alle 316L rustfritt stålstruktur— Sikrer holdbarhet og korrosjonsbestandighet.
▶Høy strømningshastighet, lav motstand— Optimalisert for høy strømning med minimalt trykktap.
▶Ultrahøy partikkelretensjonseffektivitet— Utmerket for å opprettholde ultrarene forhold.
▶Motstandsdyktig mot høye temperaturer, trykk og korrosjon– Egnet for tøffe miljøer.
▶Kompatibel med ulike prosessgasser– Allsidig for en rekke industrielle bruksområder.
▶Ideell for produksjon, testing og emballasje i renrom– Perfekt for bruk i kontrollerte miljøer.
▶100 % integritetstesting— Hvert filter gjennomgår omfattende integritetstesting for kvalitetssikring.
▶100 % heliumlekkasjetesting— Verifisert gjennom heliumlekkasjetesting for å sikre pålitelighet i kritiske applikasjoner.
Datablad
Tekniske parametere
| Parameter | Spesifikasjon |
|---|---|
| Filterelementmateriale | 316L sintret rustfritt stålpulver |
| Husmateriale | 316L rustfritt stål |
| Maks. innløpstrykk | 207 bar |
| Maks. driftsdifferansetrykk | 5,2 bar |
| Heliumvalideringslekkasjerate | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Lekkasjerate for heliumtesting | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Overflatebehandling | |
| Utvendig overflate | Ra < 1,6 μm |
| Innvendig overflate | Ra < 0,2 μm |
| Maks. driftstemperatur | |
| Inert gass | 400–500 ℃ |
| Etsende og reaktiv gass | 50 ℃ |
| Effektivitet av partikkelretensjon | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Nedstrøms renslighet | ≤0,03 partikler/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Partikkelretensjonsstørrelse | ≥0,003 μm |
Størrelse
Her er delenummeret du kan bestille og størrelsesdetaljer:
| Produktmodell | Filterelementmateriale | Filtreringsnøyaktighet (μm) | Tilkoblingstype |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L rustfritt stål | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L rustfritt stål | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L rustfritt stål | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L rustfritt stål | 10~0,003 | 1” |
| Tilpassbar | 316L rustfritt stål | 10~0,003 | Etter behov |
Typiske bruksområder
noen typiske bruksområder avHøyrenhetsfiltre for bulk og brukogGassstrømfiltre ved gassputen:
1. Halvlederproduksjon
*Sikrer ultraren gasstilførsel for waferfabrikasjon, etsning og kjemisk dampavsetning (CVD).
*Opprettholder høy renhet i bulkgassdistribusjonssystemer for nitrogen, argon og andre bæregasser.
2. Farmasøytisk produksjon
*Gir steril og partikkelfri gass for kritiske produksjonsmiljøer.
*Støtter filtrering med høy renhet for renrom og kontrollerte miljøer for å opprettholde produktets integritet.
3. Laboratoriegassystemer
*Brukes i laboratoriesammenheng for å rense gassstrømmer i analytisk utstyr som gasskromatografi og massespektrometri.
*Sikrar høyrente gasser for forsknings- og testapplikasjoner, og beskytter sensitive instrumenter.
4. Mat- og drikkevareforedling
*Filtrerer CO₂ og andre gasser som brukes i karbonering, emballasje og lagring, og opprettholder mattrygghet og kvalitet.
*Sikrer forurensningsfri gassforsyning i prosesseringsanlegg, spesielt for bulkgassforsyningsselskaper.
5. Olje- og gassindustrien
*Renser naturgassstrømmer i gassputefiltrering, og fjerner forurensninger før lagring eller transport.
*Beskytter nedstrømsutstyr ved å fjerne partikler, fuktighet og urenheter i høytrykksgasssystemer.
6. Kjemisk produksjon
*Filtrerer bruksgasser som nitrogen og argon som brukes i kjemisk syntese og reaksjoner.
*Opprettholder gassrenhet for å forhindre forurensning og reaksjonsinkonsistenser.
7. Luftfart og forsvar
*Leverer gasser med høy renhet i produksjons- og testmiljøer for luftfartsmaterialer og -komponenter.
*Sikrer jevn gassrenhet i kontrollerte miljøer for montering av fly og forsvarsutstyr.
8. Energiproduksjon (kraftverk)
*Filtrerer høytrykksgasser for kjøle- og prosessapplikasjoner, spesielt i høytemperaturmiljøer.
*Øker effektiviteten og reduserer slitasje på utstyr ved å forhindre forurensning i gasskjøle- og strømningssystemer.
Disse fFiltre er viktige i alle bruksområder som krever ren og jevn gassstrøm, og forbedrer utstyrsbeskyttelsen.
prosesseffektivitet og sluttproduktkvalitet på tvers av bransjer.
Send meldingen din til oss:
