Halvledergassfiltre:
Sikrer upåklagelig gassrenhet i flisproduksjon
I den intrikate verden av halvlederproduksjon, hvor presisjon og renhet er avgjørende, er kvaliteten på
gasser som brukes spiller en avgjørende rolle i å bestemme suksessen til prosessen. Urenheter, selv på uendelig små nivåer,
kan skape kaos på de delikate kretsene til mikrobrikker, og gjøre dem defekte og ubrukelige. For å ivareta
denne kritiske prosessen, halvledergassfiltre står som ubøyelige voktere, og fjerner omhyggelig forurensninger
og sikre den uberørte kvaliteten til gassene som strømmer gjennom produksjonslinjene.
Det er mange utmerkede funksjoner og fordeler med sintrede metallfiltre
1. Laget i et topp moderne renromsmiljø
Disse filtrene er født i et toppmoderne renrom, et miljø der ulastelige forhold vedlikeholdes omhyggelig for å minimere potensiell forurensning. De gjennomgår en streng produksjonsprosess, som starter med presisjonssveising under en atmosfære av renset luft. En påfølgende spyling av avionisert vann, etterfulgt av en høytrykksfiltrert nitrogenspyling, eliminerer eventuelle dvelende partikler og reduserer risikoen for partikkelavgivelse.
2. Eksepsjonell partikkelfjerningseffektivitet
Med en bemerkelsesverdig filtreringseffektivitet på 9 LRV for 0,003 μm partikler, som overholder de strenge standardene satt av SEMI F38 og ISO 12500 testmetoder, fjerner disse filtrene effektivt alle korrosjonsgenererte partikler og partikler generert fra bevegelige deler, og sikrer den uberørte renheten til gasser.
3. Overlegen mekanisk styrke
Disse filtrene er grundig testet for å garantere eksepsjonell motstandskraft i krevende produksjonsprosesser og miljøer som ofte bruker høyt gasstrykk, og gir urokkelig ytelse gjennom hele levetiden.
4. Overskridelse av de høyeste industristandardene
Disse filtrene overgår de strenge gasshåndteringsfiltreringskravene for halvlederbehandling, og gjennomgår strenge tester for å garantere at de oppfyller den kritiske filtreringseffektiviteten, presise strømningskontrollen og sikkerhetsstandardene som kreves av gassleveringssystemer i halvlederproduksjon.
5. Urokkelig forpliktelse til sikkerhet
For å beskytte mot eksponering for brennbare, etsende, giftige og pyrofore prosessgasser, gjennomgår filterhusene grundige lekkasjetesting, og sikrer at de oppnår en bemerkelsesverdig lekkasjehastighet på mindre enn 1x10-9 atm scc/sekund. Denne urokkelige forpliktelsen til sikkerhet sikrer at farlige gasser holdes inne og forhindres i å forårsake skade.
6. Kompromissløs renhet for fremragende flisfremstilling
Gjennom sine eksepsjonelle filtreringsegenskaper, urokkelige forpliktelse til sikkerhet og overholdelse av de høyeste industristandardene, spiller disse gassfiltrene en sentral rolle i å ivareta den intrikate prosessen med halvlederproduksjon. De står som voktere av renhet, og sikrer at bare de reneste gassene strømmer gjennom produksjonslinjene, og baner vei for å lage høyytelses mikrobrikker som driver vår moderne verden.
Typer halvlederfiltre
Halvlederfiltre brukes i en rekke applikasjoner, inkludert:
* Elektronikkproduksjon:
Halvlederfiltre brukes til å fjerne partikler fra ultrarent vann, gasser og kjemikalier som brukes i produksjonen av halvledere.
* Kjemisk mekanisk planarisering (CMP):
Halvlederfiltre brukes til å fjerne partikler fra CMP-slam, som brukes til å polere halvlederskiver.
* Biomedisinsk:
Halvlederfiltre brukes til å fjerne partikler fra væsker som brukes i medisinsk diagnostikk og behandlinger.
* Miljø:
Halvlederfiltre brukes til å fjerne partikler fra luft og vann.
Det er fire hovedtyper av halvlederfiltre:
1. Membranfiltre:
Membranfiltre er laget av en tynn, porøs film som lar væsker passere gjennom mens de fanger partikler.
2. Dybdefiltre:
Dybdefiltre er laget av et tykt, kronglete lag av materiale som fanger opp partikler når de strømmer gjennom filteret.
3. Adsorbentfiltre:
Adsorbentfiltre er laget av et materiale som tiltrekker og holder på partikler.
4. Sintrede metallfiltre
Sintrede metallfiltre er en type dybdefilter som ofte brukes i halvlederproduksjon. De er laget ved å sintre fint metallpulver til en porøs struktur. Sintrede metallfiltre er kjent for sin høye holdbarhet, høye filtreringseffektivitet og evne til å tåle høye temperaturer og trykk.
Fordeler med sintrede metallfiltre for halvlederproduksjon:
* Høy holdbarhet:
* Høy filtreringseffektivitet:
* Lang levetid:
* Kjemisk kompatibilitet:
Anvendelser av sintrede metallfiltre i halvlederproduksjon:
* Gassrensing:
Sintrede metallfiltre er en viktig del av halvlederproduksjonsprosessen, og bidrar til å sikre produksjonen av høykvalitets halvlederenheter.
Hvilken type halvlederfilter som brukes i en bestemt applikasjon avhenger av størrelsen på partiklene som fjernes, typen væske som filtreres og ønsket filtreringsnivå.
Her er en tabell som oppsummerer de forskjellige typene halvlederfiltre:
Filtertype | Beskrivelse | Søknader | Bilde |
---|---|---|---|
Membranfiltre | Laget av en tynn, porøs film som lar væsker passere gjennom mens de fanger partikler. | Elektronikkproduksjon, CMP, biomedisinsk, miljømessig | |
Dybdefiltre | Laget av et tykt, kronglete lag av materiale som fanger partikler når de strømmer gjennom filteret. | CMP, biomedisinsk, miljømessig | |
Adsorberende filtre | Laget av et materiale som tiltrekker og holder på partikler. | Elektronikkproduksjon, CMP, biomedisinsk, miljømessig | |
Sintrede metallfiltre | Laget ved å sintre fint metallpulver til en porøs struktur. | Gassrensing, kjemisk filtrering, ultrarent vannfiltrering, CMP-slurryfiltrering | Sintrede metallfiltre for halvledere |
Søknad
Sintret metall halvledergassfiltre er mye brukt i en rekke bruksområder i halvlederindustrien. Deres unike egenskaper, som høy filtreringseffektivitet, holdbarhet og evne til å tåle høye temperaturer og trykk, gjør dem til en essensiell komponent i gassleveringssystemer i halvlederproduksjon.
Her er noen av de spesifikke bruksområdene for sintrede metallhalvledergassfiltre:
1. Waferproduksjon:
Sintrede metallfiltre brukes til å rense gasser som brukes i waferproduksjon, som nitrogen, hydrogen og oksygen. Disse gassene er essensielle for prosesser som epitaksial vekst, etsing og doping.
2. Kjemisk filtrering:
Sintrede metallfiltre brukes til å filtrere kjemikalier som brukes i halvlederproduksjon, som syrer, baser og løsemidler. Disse kjemikaliene brukes til en rekke formål, inkludert rengjøring, etsing og polering.
3. Ultrarent vannfiltrering:
Sintrede metallfiltre brukes til å filtrere ultrarent vann (UPW) brukt i halvlederproduksjon. UPW er essensielt for rengjøring og skylling av wafere, samt for tilberedning av kjemikalier.
4. CMP-slurryfiltrering:
Sintrede metallfiltre brukes til å filtrere CMP-slam, som brukes til å polere halvlederskiver. CMP er en kritisk prosess ved fremstilling av mikrobrikker.
5. Brukspunktfiltrering (POU):
Sintrede metallfiltre brukes ofte som POU-filtre, som installeres direkte på brukspunktet for å gi det høyeste nivået av filtrering. POU-filtre er spesielt viktige for applikasjoner der renheten til gassen er kritisk, for eksempel ved produksjon av mikroprosessorer og andre høyytelsesenheter.
6. Gasshåndtering med høy renhet:
Sintrede metallfiltre brukes i gasshåndteringssystemer med høy renhet for å fjerne forurensninger fra gasser som brukes i halvlederproduksjon. Disse forurensningene kan inkludere partikler, fuktighet og organiske forbindelser.
7. Produksjon av mikroelektronikk:
Sintrede metallfiltre brukes i produksjon av mikroelektronikk, for eksempel datamaskiner, nettbrett, mobiltelefoner, IoT-sensorer og kontrollenheter.
8. Filtrering av mikroelektromekaniske systemer (MEMS):
Sintrede metallfiltre brukes i MEMS-filtrering, som er prosessen med å fjerne forurensninger fra mikro-elektromekaniske systemer. MEMS brukes i en rekke applikasjoner, inkludert sensorer, aktuatorer og transdusere.
9. Filtrering av datalagringsenheter:
Sintrede metallfiltre brukes i filtrering av datalagringsenheter, som er prosessen med å fjerne forurensninger fra datalagringsenheter, for eksempel harddisker og solid-state-stasjoner.
I tillegg til disse spesifikke bruksområdene, brukes sintrede metallhalvledergassfiltre også i en rekke andre bruksområder i halvlederindustrien. Deres allsidighet og pålitelighet gjør dem til et viktig verktøy for halvlederprodusenter.
Ser du etter sintrede metallhalvledergassfiltre av topp kvalitet?
HENGKO er din beste partner for OEM-løsninger innen halvlederproduksjonssystemer.
Våre presisjonsutviklede filtre sikrer pålitelighet og effektivitet i prosessene dine, og gir deg fordelen i et konkurranseutsatt marked.
Hvorfor velge HENGKOs filtre?
* Overlegen kvalitet og holdbarhet
* Tilpassede løsninger for å passe dine spesifikke behov
* Forbedret ytelse for halvlederproduksjon
Ikke la filtreringsutfordringer holde tilbake produksjonen din.
Ta kontakt med oss i dag for å utforske hvordan våre sintrede metallfiltre kan revolusjonere produksjonssystemet ditt.
Kontakt oss påka@hengko.com
Partner med HENGKO og ta et skritt mot fortreffelighet innen halvlederproduksjon!