HENGKO høyrent porøst metallkammerdiffuserstein for høyrent gassfiltrering til halvleder
HENGKO porøse metalldiffusere ventilerer raskt vakuumkamre til atmosfæren, noe som reduserer syklustiden og øker gjennomstrømningen.Våre diffusorer i rustfritt stål gir jevne og laminære gassstrømmer uten forstyrrende partikler i kammeret.Disse porøse metalldiffusorene fjerner også partikler større enn 0,1 µm fra innkommende gass, og minimerer defekter på waferen.
Diffusorer i rustfritt stål tåler høyere driftstrykk og opprettholder produktets integritet – den lengste levetiden i bransjen.Og for korrosjonsbestandighet som er overlegen nikkel, bruk HENGKO High Purity Diffusers.
applikasjoner
HENGKO porøse metalldiffusere brukes i ventilasjonsapplikasjoner på lastlåskamre, overføringskamre, kjølekamre og prosesskamre i grensesnitt for halvlederutstyr (CVD, PVD, Etch, Epi) eller andre vakuumkamre
Finner du ikke et produkt som dekker dine behov?Kontakt våre selgere forOEM/ODM-tilpasningstjenester!