Temperatur- og fuktighetssensor for halvleder-renromstemperatur-fuktighetskontrollskjema
Produktutstilling
TemperaturenogFuktigheten til det rene rommet bestemmes hovedsakelig i henhold til prosesskravene, men under forutsetning av å oppfylle prosesskravene, bør følelsen av komfort tas i betraktning.Med forbedring av krav til luftrenslighet har det vært en trend med stadig strengere krav til temperatur og luftfuktighet.
Ettersom behandlingsnøyaktigheten er mer og mer fin, blir temperatursvingningsområdet mindre og mindre.For eksempel, i den litografiske eksponeringsprosessen for storskala integrert kretsproduksjon, kreves det at forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom glass og silisiumplate som maskemateriale blir mindre og mindre.Diameter 100 um silisiumplate, temperaturøkning 1 grad, vil føre til 0,24um lineær ekspansjon, så det må være en temperatur på ±0,1 grad, samtidig er fuktighetsverdien generelt lav, fordi folk svetter, vil produktet ha forurensning, spesielt redd for natrium halvleder verksted, bør dette verkstedet ikke overstige 25 grader.
Høy luftfuktighet gir flere problemer.Når den relative luftfuktigheten overstiger 55 %, vil det dannes dugg på veggen av kjølevannsrøret, noe som vil forårsake ulike ulykker hvis det skjer i presisjonsenheter eller kretser.Når den relative luftfuktigheten er 50 %, er det lett å ruste.I tillegg, når luftfuktigheten er for høy, vil støvet som sitter fast på overflaten av silisiumbrikken bli kjemisk adsorbert på overflaten for å motstå fjerning.Jo høyere den relative fuktigheten er, er adhesjonen vanskelig å fjerne, men når den relative fuktigheten er lavere enn 30 %, er partiklene lette å adsorbere på overflaten på grunn av virkningen av elektrostatisk kraft, og et stort antall halvlederenheter er utsatt for sammenbrudd.Det optimale temperaturområdet for waferproduksjon er 35-45 %.
Derfor er kontroll av temperatur og luftfuktighet spesielt viktig, HENGKO kan gi deg en rekketilpassede behandlingsløsninger for temperatur og fuktighetstransmitter!
Temperatur- og fuktighetssensor for halvleder-renromstemperatur-fuktighetskontrollskjema
Finner du ikke et produkt som dekker dine behov?Kontakt våre selgere forOEM/ODM-tilpasningstjenester! 
